岱美儀器拿到PSS客戶第2臺膜厚測量儀ThetaMetris

此客戶是一家面向第三代半導體藍寶石上氮化鎵（GaN on Sapphire）技術的專業襯底材料供應商。公司根據不同的芯片應用領域及其外延技術特征進行適配的襯底材料開發，通過圖形化結構設計、不同材料組合應用、工藝制程實現等，為氮化鎵器件提供襯底材料綜合解決方案。

目前，公司主要產品包括2至6英寸圖形化藍寶石襯底（PSS）、圖形化復合材料襯底（MMS），主要應用于照明、顯示、背光源、Mini/Micro LED、深紫外LED等領域。公司建立了廣東省半導體襯底工程技術研究開發中心，圍繞下一代GaN先進光電子器件技術進行襯底與外延一體化研發，開展GaN功率器件用藍寶石襯底等技術研究。

FR-Scanner膜厚測量儀是波長范圍在370-1020nm的可見光干涉測量，能夠測量12nm-100um范圍的膜層厚度，準確度高達0.1%或1nm，精度為0.02nm，是一款平臺位移精度高，實現多點Mapping測量功能的膜厚測量設備，基于8“樣品最快測量速度可達300點每分鐘。