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全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測及分選機

簡(jiǎn)要描述:Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點(diǎn)支撐水平載臺,兩套系統均配有高速、高精度運動(dòng)模組和晶圓機械手,滿(mǎn)足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿(mǎn)足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。

  • 產(chǎn)品型號:Orzew FC20/FC20X
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-03-19
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 1516

產(chǎn)品分類(lèi)

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種測


形貌測量


晶圓分選


電阻率測量


關(guān)鍵尺寸檢測


由選量方

Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺

Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點(diǎn)支撐水平載臺

兩套系統均配有高速、高精度運動(dòng)模組和晶圓機械手,滿(mǎn)足亞微米級的形貌測量需求

可選裝配電阻率測試模塊,滿(mǎn)足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程  



可實(shí)現的測量?jì)热?png


可測量的晶圓類(lèi)型.png



度分三維

具備4,6,8寸晶圓檢測能力12寸可選)

全自動(dòng)輸出測量結果

自定義電阻率檢測輸出方式



屏幕截圖 2024-02-19 144536.png




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