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    FSM413紅外激光測厚儀的相關知識普及

    更新時間:2024-03-27  |  點擊率:1111
      FSM413紅外激光測厚儀是一款廣泛應用于晶圓厚度測量的先進儀器。它采用紅外干涉(非接觸式)的測量方式。這種測量方式使得儀器能夠精確測量各種材料的厚度,特別是那些對紅外線透明的材料。此外,該儀器還可以測量有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上的晶圓的襯底厚度。
     
      FSM413紅外激光測厚儀產品簡介:
      1、利紅外干涉測量技術,非接觸式測量。
      2、適用于所有可讓紅外線通過的材料硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…
     

     

      FSM413紅外激光測厚儀規格:
      1、測量方式:紅外干涉(非接觸式)。
      2、樣本尺寸:50、75、100、200、300mm,也可以訂做客戶需要的產品尺寸。
      3、測量厚度:15—780μm(單探頭);3mm (雙探頭總厚度測量)。
      4、掃瞄方式:半自動及全自動型號;另2D/3D掃瞄(Mapping)可選。
      5、襯底厚度測量:TTV、平均值、小值、大值、公差。
      6、粗糙度:20—1000Å(RMS)。
      7、重復性:0.1μm(1 sigma)單探頭*;0.8μm(1 sigma)雙探頭*。
      8、分辨率:10nm。
      9、設備尺寸:413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H);413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 。
      10、重量:500 lbs。
      11、電源:110V/220VAC。
      12、真空:100 mm Hg。
      13、樣本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS);150μm厚硅片(沒圖案、雙面拋光并沒有摻雜)。
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